有研亿金申请静电卡盘陶瓷吸附层制备方法专利,能极大地提升产品的介电强度和气密性
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2026-03-30 23:03:07
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国家知识产权局信息显示,有研亿金新材料有限公司;有研亿金新材料(山东)有限公司申请一项名为“一种静电卡盘陶瓷吸附层及其制备方法和静电卡盘”的专利,公开号CN121735652A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种静电卡盘陶瓷吸附层及其制备方法和静电卡盘。本发明提供的静电卡盘陶瓷吸附层的制备方法包括:制备陶瓷浆料;将陶瓷浆料流延形成流延片;在流延片上印刷电极浆料;干燥,使电极浆料形成生电极;在生电极之间的间隙处填充间隙生瓷片或陶瓷浆料;将带有生电极且在生电极之间的间隙处填充有间隙生瓷片或陶瓷浆料的流延片与不带生电极的流延片对位叠放,经真空热压工艺形成生瓷复合体,再脱脂,烧结。本发明提供的静电卡盘陶瓷吸附层的制备方法解决了传统工艺中陶瓷吸附层内部电极边缘易形成孔洞缺陷的技术难题,能制备出内部结构致密、无孔洞的陶瓷体,从而能极大地提升了产品的介电强度和气密性。

天眼查资料显示,有研亿金新材料有限公司,成立于2000年,位于北京市,是一家以从事金属制品业为主的企业。企业注册资本89681.828044万人民币。通过天眼查大数据分析,有研亿金新材料有限公司共对外投资了5家企业,参与招投标项目168次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息310条,此外企业还拥有行政许可53个。

有研亿金新材料(山东)有限公司,成立于2021年,位于德州市,是一家以从事有色金属冶炼和压延加工业为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析,有研亿金新材料(山东)有限公司参与招投标项目111次,专利信息87条,此外企业还拥有行政许可27个。

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来源:市场资讯

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