国家知识产权局信息显示，沈阳星膜科技有限公司申请一项名为“一种碳化硅陶瓷静电吸盘及其制备方法和应用”的专利，公开号CN122679874A，申请日期为2026年7月。

专利摘要显示，本发明提供了一种碳化硅陶瓷静电吸盘及其制备方法和应用，属于静电吸盘技术领域。本发明提供梯度电阻率介电层多孔骨架，其原料包括掺杂SiC粉体，结构上包括依次叠层设置的底层、中层与表层，且三者的电阻率依次升高；在SiC陶瓷基底上制备图案化金属电极，将SiC浆料填充至图案化金属电极的绝缘镂空区域中，干燥固化后形成复合电极；将SiC陶瓷基底上的复合电极、梯度电阻率介电层多孔骨架与硅块自下而上依次叠层放置，进行反应熔渗烧结，将所得烧结体经表面机械加工处理后在表面制备钝化层，得到碳化硅陶瓷静电吸盘。采用本发明方法制备的碳化硅陶瓷静电吸盘具有优异吸附力、温控均匀性以及快的脱附释放响应速度，且长期可靠性好。

天眼查资料显示，沈阳星膜科技有限公司，成立于2022年，位于沈阳市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，沈阳星膜科技有限公司参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息10条，此外企业还拥有行政许可5个。

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来源：市场资讯