宸微设备科技申请陶瓷加热盘制造方法专利，显著提高陶瓷加热盘的可靠性和良率
创始人
2026-08-21 21:32:20
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国家知识产权局信息显示，宸微设备科技（苏州）有限公司申请一项名为“陶瓷加热盘的制造方法”的专利，公开号CN122622051A，申请日期为2026年5月。
专利摘要显示，一种陶瓷加热盘的制造方法，使得加热盘同时具有第一陶瓷和第二陶瓷的性能优势，通过分别提供烧结好的第一陶瓷和第二陶瓷，然后将第一陶瓷和第二陶瓷焊接在一起的方式，避免因第一陶瓷和第二陶瓷材料不兼容而导致的一体化共烧结过程中出现的开裂或形变等问题，这显著提高了陶瓷加热盘的可靠性和良率。而且，最终通过第一陶瓷和第二陶瓷焊接形成的加热盘，既使得加热盘具有内嵌式的层状性能优势，能够有效提高薄膜沉积的质量和均匀性。
天眼查资料显示，宸微设备科技（苏州）有限公司，成立于2022年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3157.8947万人民币。通过天眼查大数据分析，宸微设备科技（苏州）有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目3次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息112条，此外企业还拥有行政许可4个。
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来源：市场资讯
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