珂玛科技：先进陶瓷应用于晶圆制造前道，提供结构件和模块化产品
创始人
2026-07-08 19:11:53
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有投资者在互动平台向珂玛科技提问：“董秘您好，据了解MLCC缺货潮扩散，谋划扩产的供应商却被设备‘卡住了脖子’，急需订购叠层/烧结/检测等设备，请问珂玛科技目前可以为MLCC领域提供关键陶瓷耐温耐磨零部件、MLCC产线所用薄膜沉积、热处理类设备中的腔体内衬、导向环、承烧板/垫烧板、传输手爪等高温/耐腐蚀陶瓷件，（氧化铝、碳化硅材质）等产品吗？？请相关介绍一下。谢谢。”
针对上述提问，珂玛科技回应称：“尊敬的投资者您好！公司先进陶瓷主要应用于晶圆制造前道工艺设备，目前已进入刻蚀、薄膜沉积、离子注入、光刻和氧化扩散等多种设备，先进陶瓷材料零部件产品主要应用于腔室内，其中部分零部件直接与晶圆接触，是集成电路制造中关键的精密零部件。产品包括圆环圆筒、气流导向、承重固定和手爪垫片等结构件产品，以及陶瓷加热器、静电卡盘以及超高纯碳化硅套件等高难度‘功能-结构’一体模块化产品。感谢您的关注！”
来源：市场资讯
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