国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“陶瓷件清洗方法”的专利，公开号CN122322172A，申请日期为2021年5月。

专利摘要显示，本发明实施例提供一种陶瓷件清洗方法，包括：第一清洗过程，采用化学溶液溶解陶瓷件在成型过程中产生的粉末状的颗粒；第二清洗过程，S21、采用指定酸性溶液对陶瓷件冲洗；S22、将采用指定酸性溶液冲洗后的陶瓷件浸泡在指定酸性溶液中；S23、采用纯水对浸泡后的陶瓷件冲洗；S24、采用纳米材料制作的打磨工具擦拭采用纯水冲洗后的陶瓷件；S25、将擦拭后的陶瓷件浸泡在去离子水中，并进行超声波清洗；S26、采用纯水对超声波清洗后的陶瓷件冲洗；第三清洗过程，采用超声波清洗的方式清洗陶瓷件，以去除陶瓷件上残留的颗粒和溶液。本发明实施例能有效去除陶瓷件上的悬浮颗粒和损伤层，从而解决陶瓷颗粒数量超标问题，提高芯片良率。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1442次，财产线索方面有商标信息73条，专利信息5861条，此外企业还拥有行政许可340个。

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