朗姆研究申请用于感应耦合等离子体处理系统的液冷式陶瓷窗专利，封闭至少一个冷却通道_科技资讯

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2026-07-03 16:01:23

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国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“用于感应耦合等离子体处理系统的液冷式陶瓷窗”的专利，公开号CN122342032A，申请日期为2024年11月。

专利摘要显示，液冷式陶瓷窗包括由陶瓷制成的第一板，其包括圆柱形主体，且包括具有至少一个冷却通道的第一表面。第二板由陶瓷制成且接合至第一板的第一表面以封闭至少一个冷却通道。

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