华卓精科申请复合陶瓷材料专利，提升静电卡盘的安全可靠性与使用寿命
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2026-06-29 12:04:39
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国家知识产权局信息显示，北京华卓精科科技股份有限公司申请一项名为“一种复合陶瓷材料及其制备方法和应用”的专利，公开号CN122277228A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明涉及静电卡盘材料技术领域，尤其涉及一种复合陶瓷材料及其制备方法和应用。复合陶瓷材料包括氧化铝相、含钇化合物相和BBSM玻璃相。本发明的复合陶瓷材料将氧化铝相与含钇化合物相、BBSM玻璃相进行复合，使得这些材料能够相互协同作用，在提升复合材料的耐卤素系气体的腐蚀的同时，还能使得复合陶瓷材料具有优异的力学性能、电学性能和热学性能，以满足静电卡盘装置的应用需求，提升静电卡盘的安全可靠性与使用寿命。
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