开发出替代光刻机制造工具！俄罗斯发力自研芯：7nm可期
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2025-07-03 18:20:19
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10月12日消息，现在俄罗斯也是公布了自己的芯片发展路线，其要在2030年实现14nm国产芯片制造。
目前，俄罗斯微电子企业可以生产130nm制程的产品，但是这是远远不够的。
按照俄罗斯的说法，计划到2026年实现65nm的芯片节点工艺，2027年实现28nm本土芯片制造，到2030年实现14nm国产芯片制造，而到2030年需要投资约3.19万亿卢布（384.3亿美元）。
在这之前，据俄罗斯国际新闻通讯社报道，圣彼得堡理工大学的研究人员开发出了一种“国产光刻复合体”，可用于蚀刻生产无掩模芯片，这将使“解决俄罗斯在微电子领域的技术主权问题”成为可能。
据介绍，其中一种工具的成本为500万卢布（当前约36.3万元人民币），另一种工具的成本未知。
据开发人员称，传统光刻技术需要使用专门的掩膜板来获取图像。该装置由专业软件控制，可实现完全自动化，随后的另外一台设备可直接用于形成纳米结构，但也可以制作硅膜，例如用于舰载超压传感器。
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